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光学镀膜设备的维护及清洗

放大字体缩小字体发布日期:2013-07-02 来源:实验室RAYBET雷竞技竞彩 网 浏览次数: 512
核心提示:光学镀膜设备的维护及清洗  光路的检修与维护  光路调整的先决条件是:确保直流稳定电源、调制光源头、光纤、光栅单色仪、光
光学镀膜设备的维护及清洗

  光路的检修与维护

  光路调整的先决条件是:确保直流稳定电源、调制光源头、光纤、光栅单色仪、光电转换放大器、光学膜厚仪及各专用电缆的完好和正确接入。特别是光电转换放大器、光学膜厚测量仪的接地点,必须单独归至主机接点牢固接地。

 光学镀膜设备的清洗

  设备使用一个星期后(三班),因镀料除镀在工件表面 外,亦因无定向性而工作室 内的衬板上镀料,并越镀越厚,该层膜厚因组织、繞疏松,吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时,应对工作室及衬板进行清洗,如不必要拆落来的部件,可用砂纸打磨干净,衬板可浸泡在氢氟酸水溶液里,氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。

  注:衬板必须烘干水份才能安装,烘干前,衬板的水分尽量抹干,工作架等部件用砂纸清洁后,需要把真空室的所有灰尘清理干净,此可用吸尘器吸干净灰尘。最后安装衬板时,真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。

  因使用电子枪及离子源辅助镀膜,可能会造成清洁困难,可使用喷沙等方法来清洁。

编辑:songjiajie2010

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