美国MKS真空计 925皮拉尼真空计

美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计

HPS系列的925 micropirani传感器是一种基于MEMS. 925 的，基于MEMS（微机电系统）传感器。925是用于真空压力测量并提供模拟电压输出，数字接口和设定点继电器.用于过程控制。

美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计优势：

增加压力测量范围从10-5乇大气，在一个标准的皮拉尼

Three set point relays for process control (option)

三点继电器用于过程控制（选项）

Ultra compact design

超紧凑的设计

High accuracy for improved process control

改进过程控制的高精度

Ease of operation via analog output and digital communication (RS232 or RS485)

通过模拟输出和数字通信（RS232或RS485易于操作）

MicroPiraniTM solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration

micropiranitm固态传感器是从耐空气侵入或振动的损伤

Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy

安装在任何方向，安装方便；没有损失的测量精度

Optional display available for local pressure indication

可选显示可用的局部压力指示

Alternate analog output and electrical connectors available to match other vendors’

交替的模拟输出和电连接器可与其他厂商，方便容易升级

CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC

CE标志，符合EMC指令2004／108／EEC

美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计应用：

925可以用在许多不同的真空应用在半导体的分析，

and coating industries:

涂料行业：

General vacuum pressure measurement

一般真空压力测量

Foreline and roughing pressure measurement

前级和粗压力测量

Gas backfilling measurement and control

气体充填的测量与控制

Mass spectrometer control

质谱仪控制

Activation of UHV gauges

激活真空计

System process control

系统过程控制

Control system pressure

压力控制系统