本帖最后由 王中泰 于 2025-1-6 19:30 编辑
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
⒈ 目的:阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测操作。 ⒉ 范围:适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 ⒊ 责任:生产车间、生产部、雷竞技百科
管理部、QC检验室主任、检验员。 ⒋ 测依据: ⒌ 内容: 5.1 仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm;滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 5.2 测定标准 5.3 测试方法 5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。 5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于1.5m。 5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。 5.3.7 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。 5.4 测试规则 5.4.1 测试条件 5.4.1.1 温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%之间为宜。 5.4.1.2 压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态:有静态测试和动态测试。 5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。 5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。 5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4.3 测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其布置 5.4.4.1.1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4.1.2 采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4.1.3 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。 5.4.4.2 采样点的限定:对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次,但不同采样点的采样次数可以不同。 最少采样点数目 面积m2 | | | | | <10 ≥10<20 ≥20<40 ≥40<100 ≥100<200 ≥200<400 ≥400<1000 ≥1000<2000 2000 | 2~3 4 8 16 40 80 160 400 800 | | | 注:表中的面积,对于单向流洁净室,是指送风面积,对于非单向流洁净室,是指房间面积。 |
5.4.4.3 采样量: 最小采样量 5.4.4.4 采样注意事项 5.4.4.4.1 在确认洁净室(区)送风和压差达到要求后,方可进行采样。 5.4.4.4.2 对于单向流,计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样口宜向上。 5.4.4.4.3 布置采样点时,应避开回风口。 5.4.4.4.4 采样时,测试人员应在采样口的下风侧。 5.4.4.4.5 悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算。 5.5 结果计算 C1+C2+------+CN 5.5.1 采样点的平均粒 子浓度A= ———————— N 式中: A--某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3; Ci--某一采样点的粒子浓度(i=1,2,---,N),粒/m3; N--某一采样点上的采样次数,次。 A1+A2+---+AL 5.5.2 平均值的均值M= ———————— L L 式中 M——平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒/m3; Ai——某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,---,L),粒/m3; L——某一洁净室(区)内的总采样点数,个。 5.5.3 标准误差 SE=file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.giffile:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.gif 式中 SE——平均值的标准误差,粒/m3。 5.5.4 置信上限 UCL=M+t×SE 式中:UCL ——平均值均值的95%置信上限,粒/m3; t ——95%置信上限的t分布系数。 95%置信上限的t分布系数 注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL。 5.6 结果评定:判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。 5.6.1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。 5.6.2 全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限。 5.7 当连续三次样品测试结果超过警戒指标,或单位样品的结果特别高时,应着手采取措施。 5.8 用标有页码记录本记录洁净室悬浮粒子测试实验,内容包括:部门、试状态、测试时间、标准、测试结果、结果计算、结果评定等所有
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